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其它行业对高纯氯化氢气体的要求

打印此页   发布时间:2018-07-20 09:33:20

    随着气体行业的发展,尤其是特气行业,对气体分析仪器的要求就越来越高,在这样的条件下,氦放电离子化检测器(DID)气相色谱仪及时解决了分析行业的难题。着重概述在高纯氦气、高纯氪气、高纯氙气、高纯氯化氢气体、砷烷等特气分析中的应用。 

    电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业,或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗,或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展,对电子特气的纯度提出了越来越高的要求,电子特气的的净化愈加关键和重要。目前国内的超高纯度净化技术主要依赖进口,自身的技术水准(6N)与国际先进水平(8-9N)有较大差距。本项目将设计和研发一系列高效、高容量、高选择性、低成本的新型纳米净化剂,对MO源、惰性气体、氢化物气体、反应性气体、腐蚀性气体等5个系列,50多种电子特气进行末端净化,使电子特气纯度由ppm级提高到ppb、ppt级,并将特气传输和控制系统对气体纯度的影响降至最小,从而极大地改善工艺能力,降低产品缺陷, 提高制程的产量,满足下一代半导体、微电子以及相关高技术发展的需要。 

   本项目将形成有自主知识产权的超高纯度电子特气净化技术,解决超高纯度电子特气净化这一核心技术的国产化问题。以上内容由氯化氢生产厂家为您提供! 欢迎您随时来电咨询,电话:18678175321。

   淄博万达利特种气体公司是淄博地区一家专业的氯化氢生产供应基地,公司生产的氯化氢气体、高纯氯化氢产品质量好,纯度高,价格公道,深受行业的好评,是值得信赖的氯化氢生产厂家。

 

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